Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Plasma-Therm

Компания Plasma-Therm (США) уже более 35 лет производит оборудование для плазмохимических процессов и занимает лидирующие позиции на многих мировых технологических рынках, таких как производство устройств беспроводной связи, светодиодов, устройств MEMS, устройств для хранения информации, фотошаблонов. Особое внимание компания уделяет направлению R&D в области микро- и наноэлектроники. На данный момент компания Plasma-Therm имеет 24 патента на устройства и технологические процессы в области плазменных технологий.

Технологические платформы компании Plasma-Therm позволяют работать как в режиме R&D, так и производственном цикле с высокой производительностью. При этом универсальность оборудования позволяет постепенно увеличивать производительность технологической системы и переходить от исследований к мелкосерийному производству.

Приоритетом компании Plasma-Therm является технологическая поддержка пользователей. Компания имеет 13 наград “VLSI THE BEST”, полученных за непревзойденный уровень сервиса и технологической поддержки. Компания имеет 22 центра поддержки пользователей по всему миру.

Сборка оборудования и отработка технологических процессов по заказу пользователя происходит на заводе компании в США. Потенциальным Заказчикам предлагается провести тестовый процесс на собственных пластинах в прикладной лаборатории компании. Общая площадь чистых помещений классов 100/1000 на заводе компании в США составляет более 6000м2.

На сегодняшний день компания Plasma-Therm имеет более 1300 успешных инсталляций оборудования плазмохимических технологий по всему миру.

  Показать полное описание
Технологическая платформа Versaline компании Plasma-Therm — это полноценное производственное решение, которое также можно использовать на стадии R&D и пилотного производства для достижения высокой повторяемости результатов.  
Технологическая платформа Versaline компании Plasma-Therm — это полноценное производственное решение, которое также можно использовать на стадии R&D и пилотного производства для достижения высокой повторяемости результатов.
Технологическая платформа Versaline компании Plasma-Therm — это полноценное производственное решение, которое также можно использовать на стадии R&D и пилотного производства для достижения высокой повторяемости результатов.
Технологическая платформа Versaline компании Plasma-Therm — это полноценное производственное решение, которое также можно использовать на стадии R&D и пилотного производства для достижения высокой повторяемости результатов.
Технологическая платформа VISION компании Plasma-Therm — это наиболее доступное решение для R&D и производственных задач. Установка конфигурируется в двух вариантах: VISION 420 RIE (реактивное ионное травление) и VISION 410 PECVD (плазмохимическое осаждение).
Технологическая платформа VISION компании Plasma-Therm — это наиболее доступное решение для R&D и производственных задач. Установка конфигурируется в двух вариантах: VISION 420 RIO (реактивное ионное травление) и VISION 410 PECVD (плазмохимическое осаждение).