Приглашаем Вас посетить стенд АО «ЭлТех СПб» на выставке «ВакуумТехЭкспо-2019»
Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78
Neutronix-Quintel
Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования NXQ4008 сочетает в себе возможность прецизионного совмещения и экспонирования, гибкость в настройке и удобство работы для оператора.
Установка NXQ4006 OBS позволяет работать в режимах контактной литографии (мягкий/жесткий контакт) и литографии с вакуумным контактом. Данное оборудование работает с пластинами размером до 150 мм (6"), в том числе и с осколками.
Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования NXQ4006 48x60 сочетает в себе возможность прецизионного совмещения и экспонирования, гибкость в настройке и удобство работы для оператора.
Установка NXQ 8006 Sapphire высокой производительности оснащена механизмом автоматического совмещения и роботизированной системой загрузки пластин.
Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования NXQ4006 сочетает в себе возможность прецизионного совмещения и экспонирования, гибкость в настройке и удобство работы для оператора.