Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

SEMILAB

Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41
Компания Semilab является лидером в сфере метрологического оборудования для фотовольтаики. PVS 5000 – высокопроизводительная система контроля качества полупроводниковых пластин с функцией сортировки. Система отвечает всем современным требованиям к оборудованию такого класса и представляет собой комплексное решение «под ключ».
Метрологические порозиметры PS-серии используют метод эллипсометрической порозиметрии, что позволяет получать точные измерения толщины, показателя преломления, пористости, модуль Юнга, распределение пор по размерам в тонких пленках, таких как ультра low-k пленки, пористый кремний, слои из наночас
Прибор RT-110 предназначен для измерения удельного сопротивления кремниевых пластин методом вихревых токов.
Прибор WMT предназначен для измерения толщины и удельного сопротивления в кремниевых пластинах для фотовольтаики.
Прибор WML предназначен для измерения времени жизни неосновных носителей заряда методом СВЧ-фотопроводимости в кремниевых пластинах для фотовольтаики.
LE-103PV - компактный, инновационный лазерный эллипсометр, специально предназначенный для измерения толщины и оптических параметров антибликовых покрытий, нанесенных на текстурированные кремниевые подложки.
SPR-2100 представляет собой высокотехнологичную систему измерения сопротивления растекания.
IRB-50 предназначена для обнаружения дефектов в кремниевых блоках для фотовольтаики.
MCI-100 предназначен для обнаружения микроскопических трещин в пластинах для солнечных панелей. Если оставлять микротрещины без внимания, они в дальнейшем, на более позднем этапе производственного процесса, приведут к разлому пластин. Также MCI-100 позволяет контролировать микровключения и микроотверстия, которые могут иметь негативное влияние на эффективность и качество конечного продукта.
Спектроскопический эллипсометр с функцией быстрого изменения угла (с вращающимся поляризатором) предназначен для проведения исследований характеристик тонких пленок.
Semilab SRP 2000 – это передовая и высокоавтоматизированная система для эффективного полупроводникового производства или передовых R&D целей.
WT-2000 - это мощная настольная измерительная платформа, применяемая для измерения различных характеристик полупроводниковых материалов, в частности, для контроля дефектов и загрязнений кремниевых пластин как в объеме, так и в приповерхностной области.
Сканирующий инфракрасный микроскоп Semilab SIRM-300 – превосходный инструмент для бесконтактного неразрушающего анализа объемных дефектов, таких как кислородные и металлические преципитаты, дефекты упаковки, дислокации, линий скольжения и пустоты в кремниевых пластинах и обедненных зонах.
Релаксационная спектроскопия глубоких уровней (DLTS) – высокоэффективный метод исследования электрически активных дефектов (ловушек) в полупроводниках, возникающих в результате загрязнений.