Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

FILMETRICS

Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.
Новое семейство систем F3-sX специально разработано для измерения полупроводниковых и диэлектрических слоев толщиной до 3 мм.
С помощью F64-c могут быть легко и быстро получены карты распределение толщины и основных оптических параметров тонких пленок.
Filmetrics F54 позволяет быстро измерять карты распределения толщин в образцах диаметром до 450мм.
Filmetrics F40 - Оптический толщиномер, предназначенный для измерения тонких пленок размером до 1 мкм.
Универсальная настольная система Filmetrics F30 предназначена для измерения скорости осаждения, оптических констант (n и k) и однородности как полупроводниковых, так и диэлектрических слоев в режиме реального времени.
Filmetrics F10-PA специально предназначен для измерения толщин париленовых покрытий, позволяя любому пользователю с базовыми навыками владения компьютера проводить измерения за считанные секунды.
Прибор Filmetrics F10-HC предназначен для измерения толщин одно-и многослойных твердых пленок.
Оптическая система прибора позволяет достичь размера светового пятна в 25 мкм, что дает возможность измерять даже достаточно шероховатые и неоднородные структуры.
Filmetrics F3 предназначен для измерения толщины и показателя преломления пленок в образцах малых размеров.
Filmetrics aRTie – прорыв в спектральных рефлектометрах, это компактный и чрезвычайно простой прибор для измерения толщины, коэффициента отражения и пропускания тонких пленок.
Filmetrics S3-NIR - портативный спектрометр ближнего инфракрасного диапазона.
Установка предназначена для определения толщины пластины безконтактным точечным методом в режиме штучной ручной обработки пластин.
Универсальная настольная система Filmetrics F70 предназначена для измерения толщины и коэффициента отражения. Система позволяет проводить измерения толщины прозрачных материалов до 13 мм (листовое стекло, полимерные пленки, линзы) и полупроводниковых пластин до 2 мм толщиной.
Filmetrics F60-C позволяет проводить измерение коэффициента преломления и распределения толщины тонких пленок по поверхности пластин. Данная система полностью автоматизирована и прекрасно подходит для использования в производственных линиях.
Рефлектометр Filmetrics F10-RT используется для измерения коэффициента отражения и пропускания тонких пленок. Прибор позволяет получать спектры отражения и пропускания одним нажатием мыши. Рабочий диапазон прибора охватывает длины волн от 200 до 1700 нм.
Filmetrics F80-C позволяет проводить измерение распределения толщины тонких пленок по поверхности структурированных пластин.
Прибор Filmetrics F50 используется для измерений распределения толщины и показателя преломления диэлектрических, полупроводниковых и металлических тонких плёнок по поверхности пластин.