Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Выполненные проекты

Комплексные проекты по созданию и оснащению лабораторий и производств

4 сентября 2013 года в Институте физики и химии МГУ имени Н. П. Огарева открылся первый в России исследовательский центр ALD-технологий.
В 2012 году завершены основные работы по комплексному проекту Лаборатория литий-ионных технологий ФТИ им. А.Ф. Иоффе
В 2012 году завершены основные работы по комплексному проекту НТЦ тонкопленочных технологий ФТИ им. А.Ф. Иоффе (г. Санкт-Петербург).
В 2012 году завершены основные работы по комплексному проекту НОЦ «Нанотехнологии», НИЯУ «МИФИ» (г. Москва).

Проекты по поставке технологического оборудования

Модель: Logitech LP50
Очередная установка шлифовки/полировки Logitech LP50 была запущена на предприятии в г.Москве сотрудниками технологического отдела компании.
Модель: Corema WT
На одном из предприятий Санкт-Петербурга сервис-инженеры компании ЗАО «Элтех СПб» ввели в эксплуатацию систему бесконтактного картографирования удельного сопротивления пластин карбида кремния диаметром до 150 мм Corema WT.
Модель: Unitemp RSS-160
На одном из предприятий Санкт-Петербурга сервис-инженеры компании ЗАО «Элтех СПб» ввели в эксплуатацию очередную установку для пайки оплавлением Unitemp RSS-160.
Модель: Diener PICO
На одном из предприятий Москвы сервис-инженеры компании ЗАО «Элтех СПб» ввели в эксплуатацию установку плазменной очистки поверхности Diener PICO.
Модель: Logitech LP50
На одном из предприятий Санкт-Петербурга сервис-инженеры компании ЗАО «Элтех СПб» ввели в эксплуатацию очередную установку шлифовки/полировки Logitech LP50.
Модель: Diener Atto
На одном из предприятий Санкт-Петербурга сервис-инженеры компании ЗАО «Элтех СПб» ввели в эксплуатацию установку плазменной обработки Diener Atto.
Модель: Cascade Microtech PM8
На одном из предприятий Москвы запущен измерительный комплекс на базе зондовой станции Cascade Microtech PM8 и измерителя LCR Agilent E4980A.
Модель: Diener NANO
Сервис инженеры компании Элтех ввели в эксплуатацию очередную установку плазменной обработки Diener Nano. Установка выполнена в напольной версии с компьютерным управлением.
Модель: Disnix E-600
Сервис-инженеры компании ЗАО "ЭлТех Спб" успешно завершили проект по вводу в эксплуатацию установки электронно-лучевого напыления Disnix E-600.
Модель: SPS APT SPIN 150
В исследовательском центре Сколково введена в эксплуатацию лабораторная центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN 150 с ручной системой подачи материала.
Модель: Logitech PM5
На одном из предприятий Санкт-Петербурга введена в эксплуатацию очередная установка шлифовки и полировки Logitech. Установка Logitech PM5 используется Заказчиком для шлифовки и полировки карбида кремния.
Модель: Unitemp RTP 1200-100
На одном из предприятий Москвы, введена в эксплуатацию установка быстрого термического отжига в высоком вакууме Unitemp RTP 1200-100 с опцией работы в высоком вакууме. С характеристиками установки можно ознакомиться в разделе оборудование Unitemp
Модель: Filmetrix F50
На предприятие в г. Санкт-Петербурге в сентябре 2012 года поставлена и сдана в эксплуатацию установка измерения и анализа прозрачных пленок Filmetrix F50.
Модель: Neutronix 4006
В конце 2011 года для одного из наукоемких предприятий была поставлена линия технологического оборудования для участка фотолитографии.
Модель: Diener PICO
В начале 2012 года ЗАО «ЭлТех СПб» для ООО «Люмэкс-Маркетинг» была поставлена и успешно введена в эксплуатацию установка на платформе Diener PICO для плазменной очиски поверхности и осаждения защитных органических покрытий для медицинских применений.
Модель: Diener Nano и Unitemp RTP1200-100
На одном из предприятий Санкт-Петербурга дооснащена лаборатория формирования металлизации.
Модель: DCA M600 и R&D установка эпитаксии Veeco GEN930
В 2011 году в одном из ресурсных центров оснащен под ключ участок молекулярно-лучевой эпитаксии.
Модель: SMI Epic CVD
В 2011 году в один из ресурсных центров поставлена первая установка газофазной эпитаксии карбида кремния SMI Epic CVD производства компании Structured Materials Industries (США).
Модель: Kurt J Lesker серии PVD
В 2012 году в Россию поставлена 10-я установка вакуумного напыления Kurt J Lesker серии PVD.
Модель: Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker Nano36
В начале 2012 года в России успешно введена в эксплуатацию первая установка вакуумного напыления Kurt J Lesker модели Nano36.