Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

НОЦ «Нанотехнологии», НИЯУ «МИФИ» (г. Москва)

В 2012 году завершены основные работы по комплексному проекту НОЦ «Нанотехнологии», НИЯУ «МИФИ» (г. Москва). Компания ЭлТех СПб выполнила комплекс работ по разработке проектно-сметной документации; проектированию;строительству и вводу в эксплуатацию 580 м² чистых производственных помещений классов чистоты ISO 8, 7 и 6;созданию автоматизированной инженерной инфраструктуры: систем водо- и газоснабжения, систем охлаждения и подачи вакуума, системы диспетчеризации;созданию вспомогательных помещений и сервисных зон площадью 300 м². Общая площадь центра – 880 м2. Также комплексное оснащение лабораторий центра - подбор, поставка, обвязка и пусконаладка современного инженерного и технологического оборудования на следующих участках:

- лазерной абляции;

- напыления и нанесения материалов;

- плазмохимических процессов;

- молекулярно-лучевой эпитаксии;

- газофазной эпитаксии;

- контактной литографии;

- электронно-лучевой нанолитографии;

- нанесения фоторезиста;

- технохимии;

- сканирующей зондовой микроскопии;

- аналитического оборудования;

- резки, шлифовкии полировки пластин;

НОЦ «Нанотехнологии» – ключевой исследовательский центр микро- и нанотехнологий в России. Центр позволяет проводить весь комплекс технологических операций по созданию опытных образцов устройств твердотельной СВЧ-электроники, производства МЭМС и НЭМС, разработок в сфере светодиодных технологий, силовой и экстремальной электроники. Специализация НОЦ: технологии и физика квантово-размерных гетероструктур и разработка СВЧ-приборов на их основе; микро- и нанотехнологии формирования короткоканальных гетероструктур СВЧ-приборов; создание гетероструктурных униполярных и биполярных СВЧ-устройств и монолитных СВЧ ИС и приборов; разработка энергосберегающих приборов на основе широкозонных материалов.