Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка газофазной эпитаксии карбида кремния SMI Epic CVD

В 2011 году в один из ресурсных центров поставлена первая установка газофазной эпитаксии карбида кремния SMI Epic CVD производства компании Structured Materials Industries (США). Установка предназначена для роста карбида кремния на кремнии.

С характеристиками установок можно ознакомиться в разделе оборудование SMI.