Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Участок молекулярно-лучевой эпитаксии

В 2011 году в одном из ресурсных центров оснащен под ключ участок молекулярно-лучевой эпитаксии. На участке установлены: первая в России установка оксидной эпитаксии редкоземельных элементов DCA M600 и R&D установка эпитаксии Veeco GEN930, которая является признанным лидером в своем классе. Участок полностью обвязан инженерными сетями, включая линию подачи жидкого азота с раздельными фазовыми сепараторами.

С характеристиками установок можно ознакомиться в разделе оборудование DCA и Veeco.