Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка химико-механической планаризации Logitech ORBIS

Очередная установка шлифовки/полировки Logitech LP50 была запущена на предприятии в г.Москве сотрудниками технологического отдела компании. Так же введена в эксплуатацию установка химико-механической планаризации Logitech CMP ORBIS. Установки используются для обработки кремниевых пластин размером 100мм. Уровень автоматизации установки ORBIS практически исключает участие оператора в процессе обработки пластин, а широкие функциональные и аналитические возможности позволяют существенно ускорить процесс полировки.

С оборудованием компании Logitech можно ознакомиться в разделе «Производители оборудования»