Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Лазерный эллипсометр LE-103PV

Производитель: SEMILAB

LE-103PV - компактный, инновационный лазерный эллипсометр, специально предназначенный для измерения толщины и оптических параметров антибликовых покрытий, нанесенных на текстурированные кремниевые подложки. Современное, интуитивно понятное программное обеспечение позволяет оператору пользоваться предопределенными рецептами, которые включают в себя обширную библиотеку свойств материалов.

 

Особенности LE-103PV:

 

  • Определение толщины и оптических констант (показатель преломления и коэффициент экстинкции)  пленок антибликовых покрытий

  • Высокоточные измерения под различными углами падения лазерного луча

  • Микрофокусирующая оптика для оптимизации сбора отраженных сигналов

  •  

    Специально адаптированная ячейка для образцов 156х156 мм

  • Поворот компенсатора для измерений Ψ (0° - 90°) и Δ (0° - 360°) позволяет увеличить чувствительность и рассчитывать деполяризацию, вызванную шероховатостью.

 

Технические характеристики:

 

Длина волны излучения

632.8нм (He-Ne лазер)

Время измерений

100мс - 2с

Диапазон измерения толщин пленок

2-6000 нм*

Держатель образцов

156х156мм

Гониометр

55°-90° (ручной контроль, шаг 5°)

Размер светового пятна на образце

<1 мм

Точность (1 σ, 120нм SiO2 на Si, 1с)

Показатель преломления: 0,0005

Толщина: 0,01 нм

*Для SiO2

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41