Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка измерения удельного сопротивления RT-110

Производитель: SEMILAB
Назначение установки
Прибор RT-110 предназначен для измерения удельного сопротивления кремниевых пластин методом вихревых токов.

Прибор не требует специальной подготовки образцов, их загрузка производится вручную, а сами измерения полностью автоматизированы. RT-110 может работать в четырех диапазонах по сопротивлению. Возможно дооснащение системы датчиками для измерения толщины и типа проводимости.

Характеристики:

Диапазон измерения сопротивления

0,5-20 Ом х см (опционально до 0,01 Ом х см)

Точность измерения сопротивления

5%

Время измерения

1 с

Размер светового пятна

15 мм

Диапазон измерения толщины

200-1000 мкм

Точность измерения толщины

1% или ±5 мкм

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41