Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система измерения сопротивления растекания SRP-2100

Производитель: SEMILAB

SPR-2100 представляет собой высокотехнологичную систему измерения сопротивления растекания. С помощью данной системы, по сколам полупроводниковых структур, можно получать профили распределения основных носителей заряда по глубине. Измерительный диапазон системы перекрывает весь диапазон концентраций, диктуемый современными потребностями. Разработчики могут проверить насколько тесно их теоретические модели совпадают с реально создаваемыми структурами. Таким образом, можно устранять различные ошибки технологического процесса легирования, в том числе: при росте эпи-слоя, ионной имплантации и диффузии.

 

Измеряемые параметры:

 

  • Поверхностное сопротивление
  • Удельное сопротивление
  • Тип носителей заряда
  • Положение металлургической границы

 

Особенности:

 

  • 4-х осевой столик с пьезоэлектрическим мотором и энкодерами на каждую ось
  • Обновленное программное обеспечение для управления процессом измерения и анализа данных
  • Виброзащита и акустическая изоляция

 

Характеристики:

 

Диапазон измерения сопротивления растекания, Ом

1-109

Диапазон изменения удельного сопротивления, Ом∙см

10-4-4∙104

Диапазон измерения концентрации, см-3

1011-1021

Разрешение по глубине

1-100 нм

Воспроизводимость 10g (стандартная)/5g/5g USL

10%/12%/20%

 

Опции:

 

  • Специально сконструированный лазерный сенсор для высокоточного определения угла скола и измерения глубины профиля
  • Расширение для измерение слоев тоньше 150 нм. Предельное значение для метода – 25 нм, что подтверждается сопоставлением результатов с ВИМС.
  • Зонд с переменным расстоянием: моторизированное перемещение для измерения поверхностного сопротивления тонких изолированных слоев
  • Опция PCIV для широкозонных полупроводников. Сочетает в себе измерения при различных смещениях и анализ ВАХ для определения профиля сопротивления растекания новых полупроводниковых материалов.
  • Стандартная промышленная сигнальная башня для информирования оператора о состоянии системы
  • Блок для полировки образцов
Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41