Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка измерения толщины и удельного сопротивления WMT

Производитель: SEMILAB
Назначение установки
Прибор WMT предназначен для измерения толщины и удельного сопротивления в кремниевых пластинах для фотовольтаики.

Модели WMT, WMT-1 и WMT-3, позволяют измерять толщину и удельное сопротивление в пластинах "на ходу", то есть, нет необходимости останавливать конвейер на время измерения. Таким образом, WMT имеет высокую пропускную способность, отвечающую требованиям линии in-line контроля качества. Возможно дооснащение системы вплоть до 3-х измерительных головок, а также датчиками температуры и типа проводимости.

Характеристики:

 

Размер измеряемого образца

125-156 мм

Расстояние между верхним и нижним сенсорами

2 мм

Метод измерения сопротивления

Вихревые токи

Диапазон измерения сопротивления

0,3-15 Ом х см

Точность измерения сопротивления

1% (0,3-3 Ом х см)

Воспроизводимость измерения сопротивления

1%

Размер светового пятна

10 мм

Метод измерения толщины

Емкостной

Диапазон измерения толщины

100-500 мкм

Воспроизводимость измерения толщины

0,5%

Допуск вертикального позиционирования образца

<300 мкм (двойная амплитуда, включая вибрацию)

Число измеряемых точек (для 1 измерительной головки)

До 110 точек на образце размером 156х156 мм при скорости перемещения образца 250 мм/с

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41