Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Стилусный профилометр SURFCOM 5000DX

Производитель: ACCRETECH

SURFCOM 5000DX представляет собой высокоточный стилусный профилометр высочайшего разрешения (0,3 нм).

Отличительными особенностями профилометра являются: 

  • Высокие точность, скорость и разрешение. 
  • Запатентованный высокостабильный волоконно-оптический лазерный интерферометр и обладает соотношением динамического диапазона к разрешающей способности 43,333,000:1. 
  • Диапазон измерений по горизонтали до 200 мм и до 13 мм по вертикали. 
  • Моторизованный блок наклона с возможностью наклона до 45°.
  • Низкий уровень вибрации, что позволяет без проблем проводить измерения при высоком увеличении. 

Профилометр может быть дооснащен большим количеством разнообразных держателей и стилусов позволяющих проводить автоматизированные измерения различных по свойствам и форме материалов в трех плоскостях. 

 

 

Диапазон

измерений

Z-ось (вертикальная)

13 мм/50 мм плечо, 26 мм/100 мм плечо

X-ось (горизонтальная)

200 мм

Точность

Z-ось индикация точности (вертикальная)

±(0,2 + IВI/1000) мкм (В – измеряемая высота, мм)

Разрешение

0,31 нм/50 мм плечо

Х-ось индикация точности (горизонтальная)

±(0,2 + Д/1000) мкм (Д – измеряемая длина, мм)

Разрешение

0,54 нм

Точность прямолинейности

0,05 + 3Д/10000 мкм (Д – измеряемая длина, мм)

Метод

зондирования

Z-ось (вертикальная)

Высокостабильный оптический путь лазерного интерферометра

X-ось (горизонтальная)

Оптическая дифракционная шкала

Скорость

Скорость колонки вверх/вниз (Z-ось)

До 200 мм/с

Скорость измерений (X-ось)

От 0,03 мм/с до 3 мм/с (во время измерения текстуры); от 0,03 мм/с до 20 мм/с (во время измерения контура);

Скорость перемещения (X-ось)

От 0,02 мм/с до 60 мм/с

Наклон

±45°

Датчик

Стилус

заменяемый

Усилие

0,75 мН

Радиус стилуса

50 мм плечо

Материал стилуса

алмаз

Другое

Электропитание

Однофазный 100 В (требуется заземление); 50 Гц/60 Гц; 663 ВА

Подача воздуха

Давление: 0,4 МПа или более, Рабочее давление: 0,4 МПа,

Габариты

1500 х 1000 х 2000 мм

Вес

700 кг

 

Производитель
Компания Accretech, основанная в Японии в 1949 году, является мировым лидером в области ультрасовременного измерительного и производственного оборудования для полупроводниковой промышленности.